한양대학교-삼성전자 2021 산학협력 논문 경진대회에서 한양대학교 전기∙생체공학부 전기공학전공 정진욱 교수 연구팀 임영민 학생(박사과정)이 우수상을 수상했다. 수상 논문명은 ‘A wafer-like apparatus for two-dimensional measurement of plasma parameters and temperature distribution in low-temperature plasma’으로, 2차원 플라즈마 변수 및 웨이퍼온도 동시 측정과 상관 관계에 대해 다뤘다. 논문에서, 이번에 개발된 웨이퍼 모니터링 장비는 웨이퍼온도를 측정하기 위해 백금 저항 탐지기를 사용했다. 열유속은 플라즈마 밀도와 전자 온도에서 얻을 수 있고, 플라즈마의 밀도와 전자 온도는 floating harmonics 방법을 사용해 얻는다. 연구에서는 웨이퍼온도와 플라즈마 밀도, 전자온도의 2차원 분포가 유도 결합 플라즈마에서 처음으로 동시에 얻어진다고 서술했다. 또한 웨이퍼온도와 유입되는 열량의 이차원 분포에서는 일부 차이가 존재하지만 에너지 균형 방정식을 설정하여 개발한 웨이퍼형 모니터링 장비의 실험 결과가 일치함을 보였다. 이는 플라즈마 처리를 할 때, 민감한 표면 반응을 이해하는 데 큰 도움이 될 것이라 기대된다