ÇѾç´ëÇб³ °ø°ú´ëÇÐ
´ëÇѹα¹ ±â¼ú Çö½ÇÈÀÇ »ê½Ç°ø°ú´ëÇÐ ¼Ò½ÄÇлý
ÇѾç´ëÇб³ À̵¿±â Çлý, Ú¸ SPIE ÀåÇлý ¼±Á¤ | |
---|---|
ÀÛ¼ºÀÚ : ÇѾç´ëÇб³ °ø°ú´ëÇÐ(help@hanyang.ac.kr) ÀÛ¼ºÀÏ : 23.10.06 Á¶È¸¼ö : 157 | |
ÇѾç´ëÇб³ ½Å¼ÒÀç°øÇаú À̵¿±â ¼®¹ÚÅëÇÕ°úÁ¤ Çлý(Áöµµ±³¼ö ¾ÈÁøÈ£)ÀÌ ±¹Á¦±¤ÀüÀÚ°øÇÐȸ(SPIE, Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers) ÀåÇлýÀ¸·Î ¼±Á¤µÆ´Ù°í, ÇѾç´ë°¡ 26ÀÏ ¹àÇû´Ù. SPIE´Â ±¤ÇÐ ¹× ±¤ÀüÀÚ °øÇÐ ºÐ¾ß¿¡¼ °¡Àå ±ÇÀ§°¡ ÀÖ´Â ÇÐȸÀÌ´Ù. À̵¿±â ÇлýÀÌ ¼ö»óÇÑ ¡®SPIE-BACUS ¡¯ÀåÇбÝÀº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤°øÁ¤ºÐ¾ß¿¡¼ °¡Àå ¿ì¼öÇÑ Çлý¿¡°Ô ¼ö¿©µÈ´Ù. Çѱ¹¿¡¼´Â À̵¿±â ÇлýÀÌ ÃÖÃÊ·Î ¼ö»óÇß´Ù. À̵¿±â ÇлýÀº ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼ÈÀÇ ÇÙ½ÉÀÎ EUV ³ë±¤±â¼ú¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Æ÷Å丶½ºÅ© ¹× Æ縮Ŭ Æò°¡±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Â÷¼¼´ë Æ÷Å丶½ºÅ©ÀÎ EUV À§»óº¯À§¸¶½ºÅ© Æò°¡±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ¶ÇÇÑ, EUV °Ë»ç ±â¼ú ¹× ÀåÄ¡¿¡ ´ëÇÑ ±¹Á¦Ç¥ÁØÀ» ÃÖÃÊ·Î Á¦Á¤Çϱâ À§ÇÑ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. À̵¿±â ÇлýÀº ¡°±¹³» EUV ¼ÒÀç ºÎÇ° Àåºñ »ê¾÷ÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀ̱â À§Çؼ EUV Æò°¡±â¼úÀÇ °³¹ßÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÑ´Ù. ±×·¸±â¿¡ Çõ½ÅÀûÀÎ EUV Æò°¡±â¼ú °³¹ßÀ» ÅëÇØ ±¹³» EUV Å×½ºÆ®º£µå ±¸Ãà¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥¡±¶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí, À̵¿±â ÇлýÀÌ ¼Ò¼ÓµÇ¾î ÀÖ´Â ÇѾç´ëÇб³ ¾ÈÁøÈ£ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ±¹³»¿¡¼ ÃÖÃÊ·Î EUV ³ë±¤±â¼ú ¿¬±¸¸¦ ½ÃÀÛÇß°í, ÇöÀç ±¹°¡ÁöÁ¤¿¬±¸ÇùÀÇü(N-Team)ÀÎ EUV »êÇÐÇù·Â¼¾ÅÍ (EUV-IUCC)¸¦ ÅëÇØ 30¿© °³ ±â¾÷°ú Çù·Â ÁßÀÌ´Ù.
À̵¿±â Çлý
±¹Á¦±¤ÀüÀÚÇÐȸ(SPIE)´Â 19ÀÏ, ÇѾç´ëÇб³ À̵¿±â ¼®¹Ú»çÅëÇÕ°úÁ¤ ÇлýÀÇ 2023 SPIE-BACUS ÀåÇÐ±Ý ¼ö¿©¸¦ È«º¸Çϱâ À§ÇØ º¸µµÀڷḦ ¹èÆ÷Çß´Ù. |
|
ÀÌÀü±Û | À¯µ¿Çö Çлý, Á¦9±â ±¹¹ÎÁ¶Á¾»ç ¼±¹ß |
´ÙÀ½±Û | ÇѾç´ëÇб³ »ê¾÷°øÇаú ÀÓ¹®¿ø ¹Ú»ç°úÁ¤, ICMR 2022 ½ÅÁø¿¬±¸ÀÚ»ó ¼ö»ó |
|