¾ÈÁøÈ£ ½Å¼ÒÀç°øÇаú ±³¼ö°¡ 3¿ù 4ÀÏ Á¦1ȸ Çѱ¹¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹À̱â¼úÇÐȸ ½Ã»ó½Ä¿¡¼ Çмú»óÀ» ¼ö»óÇß´Ù.
¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹À̱â¼úÇÐȸ°¡ ¿ÃÇØ Ã³À½ ¸¶·ÃÇÑ ½Ã»ó½ÄÀº ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ß ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ü·Ã Çмú ¹ßÀü°ú ¾÷°è Çù·Â È°¼ºÈ¿¡ ±â¿©ÇÑ Àι°À» °Ý·ÁÇϱâ À§ÇØ ¸¶·ÃµÆ´Ù. ¾ÈÁøÈ£ ±³¼ö°¡ Çмú»óÀ», ¾öÆò¿ë À¯ÁøÅ×Å© ȸÀåÀÌ ±èÁßÁ¶»óÀ» ¼ö»óÇϸç ù ¼ö»óÀÇ ¿µ±¤À» ¾È¾Ò´Ù.
¾È ±³¼ö´Â ±¹³»¿¡ EUV ¿¬±¸ »ýÅ°踦 ¸¸µå´Â µ¥ Å©°Ô ±â¿©Çß´Ù. ¾È ±³¼ö°¡ Áö³ 20³â °£ µ¿ºÐ¼ÁÖ ÇÑ °á°ú ±¹³» °¢Á¾ °úÇбâ¼ú ¿¬±¸±â°ü°ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷¿¡ EUV ¼ÒÀç ¼º´ÉÀ» Å×½ºÆ®ÇÒ ¿¬±¸ ÀÎÇÁ¶ó°¡ ¸¶·ÃµÇ±â ½ÃÀÛÇß´Ù. Áö³ 2019³â¿¡´Â ±¹³»¿Ü EUV °ü·Ã ±â¾÷, ¿¬±¸±â°ü, ÇаèÀÇ Çù·ÂÀ» À̲ø¾î³»±â À§ÇØ EUV-IUCC(»êÇÐÇù·Â¼¾ÅÍ) ¼³¸³À» ÁÖµµÇϱ⵵ Çß´Ù.
ÀüÀڽŹ®¿¡ µû¸£¸é ¾È ±³¼ö´Â "Áö±Ý±îÁö ¿¬±¸ÇØ¿Ô´ø Â÷¼¼´ë ±â¼úÀÌ ¾ç»ê¿¡ Àû¿ëµÇ´Â °ÍÀ» º» °Í¸¸À¸·Îµµ Å« Çà¿î"À̶ó°í ¹àÇû´Ù. µ¡ºÙ¿© "¼ÒÀç °±¹ ÀϺ»º¸´Ù EUV ¿¬±¸°¡ 10³â Á¤µµ ´ÊÀº °ÍÀ» °í·ÁÇÏ¸é ¾ÆÁ÷ °¡¾ßÇÒ ±æÀÌ ¸Ö´Ù"¸ç "±¹³» °¢°è°¢Ãþ EUV ¿¬±¸ÀÚµé °£ ´õ¿í °¡±î¿î Çù¾÷ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ¸¸Å, À̸¦ ½ÇÇöÇÒ ´Ù¾çÇÑ ¹æ¹ýÀ» °í¾ÈÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
|